第(2/3)页 “这样啊。”莫文琳似有所悟的点点头,说道:“金相当于一个电极缓冲层的作用。” “嗯,差不多吧。”许秋回应了一句,然后翻找出装金、银两种蒸镀靶材的试剂袋、试剂瓶,以及两只已经用异丙醇超声清洗干净的钨篓容器,准备装料。 蒸镀舱有四个束源炉和两个电流加热装置,一般情况下都是用一个束源炉蒸镀传输层,比如三氧化钼,另外用一个电流加热装置蒸镀金属电极,比如金、银、铝。 今天需要用到两个电流加热装置和一个束源炉装置。 钨篓是高纯钨打造,其中间是一个篓装结构,可以放置靶材,两边延伸出来大约3-4厘米的长度,用来被固定。 钨的熔点非常高,当电流经过钨篓时会产生高温,高温可以融化其他金属,而钨篓自身不会被融化。 许秋开始装入靶材。 首先是银,因为银比较便宜嘛,所以实验室一次性买了很多回来。 银靶材被简单的装在一个类似于甘草片药瓶子大小和模样的塑料小瓶中,一粒粒的,每一颗的规格相近,长度约0.5厘米,直径约0.3厘米,两端有明显的凹陷进去的剪切痕迹,应该是先把银做成了丝状,然后再剪断制成。 许秋直接往钨篓里丢入了两颗银粒,平常蒸镀100纳米厚度的银,大约用5颗左右的银粒,现在蒸镀9纳米,两颗肯定足够。 理论上,放一颗银粒应该也够。 但在蒸镀这种事上,宁愿多用一点,也不能少,因为一旦少了,这批器件就直接废了。 毕竟,蒸镀这项实验是有非固定损耗的,根据蒸镀速率不同,损耗程度也不同,一般蒸镀速率越慢,损耗的靶材也就越多。 在制备薄层电极时,为了让金属电极连续、均匀,肯定是要压低蒸镀速率的。 把装有银靶材的钨篓固定在电流加热装置上,许秋继续装金靶材。 金靶材是装在一个透明塑料袋里的,原厂可能是出于安全考虑,在透明塑料袋外面还套着一个不透明塑料袋。 金比较贵,实验室里用到的纯度在99.99%级别,价格比市面上的万足金要贵一些。 当然,价格也是浮动的,每次找专门做靶材的公司购买的时候价格都不一样。 许秋偶尔会收到靶材公司销售的消息:“最近金价又有抬头的趋势,亲,实验室里要不要屯一点金靶材呢?” 这批金靶材同样是圆柱体形状,直径也是0.3厘米左右,不过长度比较长,大约0.8厘米,同时是一个比较标准的圆柱体,两端没有剪切痕迹,滑溜溜的。 许秋取出一颗金靶材,用干净的剪刀把它剪断为三截,把其中一截截放入钨瘘中,另外两截放回塑料袋中。 平常蒸镀100纳米厚度的金,大约用2颗银粒,现在蒸镀1纳米,三分之一颗应该够了。 金的价格相对比较贵,能省的话,还是省着点用吧。 许秋用同样的操作方法将钨篓固定在电流加热装置上,又取出三氧化钼的束源炉,换了一些新的三氧化钼,完成后说道:“莫文琳,打开机械泵。” 第(2/3)页